加速率传感器横向迅速度
宣布时间：2020-12-09
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横向迅速度是指加速率计在遭受一个正交于敏感偏向的加速率信号时，其输出与输入加速率之比。横向迅速度与轴向迅速度之比称为“横向迅速度比”，它是权衡传感器性能的主要指标。
图1 加速率计横向迅速度示意图
图2 加速率计横向迅速度典范极坐标图
由于加速率计横向迅速度具有偏向性，在与被校加速率计主轴笔直的横向平面内输入信号偏向差别，其横向迅速度巨细差别。理论上，加速率计最大横向迅速度比的偏向与最小横向迅速度比偏向角相差90°，因此，加速率计横向迅速度测试的目的是测定：１、最大横向迅速度比；２、加速率计横向效应最小的角度。
差别类型的加速率计，其横向输出特征与其结构有着亲近的关系，以下对常用的几款加速率计横向迅速度爆发的缘故原由举行剖析。
（1）造成压电式加速率计具有横向输出特征的缘故原由主要有：机械加工及封装误差；压电元件自己横向压电效应；结构设计不对理；装配不当爆发附加应力。
（2）硅微电容式加速率计一样平常接纳差动电容举行丈量。当过大的横向加速率使得两对电极的极板正扑面积爆发转变；或质量块沿獭扭转，造成两对电极的不平行；强烈共振作用下或振动组件中横梁的强度不匀称所引起质量块的变形，这些情形都会造成加速率计的横向输出。
（3）压阻式加速率计接纳了半导体平面工艺和各向异性侵蚀相团结的工艺，为了在悬臂梁的根部加工出应变电阻，要求悬臂梁顶面与基片外貌在统一平面上，由此造成了质量块的中心与支持梁的中性面的不重合，这正是造成硅微加速率计横向输出的主要缘故原由。
差别的横向迅速度测试要领适用于差别的测试要求，下表较量了差别测试要领适合的频率规模和加速率幅值规模。
表1 横向迅速度测试要领较量
从测试效率、频率规模及加速率幅值规模思量，币游国际测试选择双轴振动激励法举行加速率计横向迅速度的测试。
图3 双轴振动激励法测试装置实物图
图4 软件界面及横向迅速度极坐标图
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