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压阻式加速率传感器


接纳压阻式 MEMS 手艺,微封装制作,气态阻尼,全桥输出,信噪比高,具有直流响应、耐攻击等特点,可用于机械装备振动加速率、桥梁索力等丈量。

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产品形貌

特点:

使用单晶硅作为悬臂梁, 在其根部扩散出四个电阻,当悬臂梁自由端的质量块受有加速率作用时,悬臂梁受到弯矩作用,爆发应力,使四个电阻阻值爆发转变。最小重量为6g,最大宗程规模6000g。

 

应用:

卑劣情形、事故、碰撞测试、振动/ 攻击测试、航天航空、形态剖析、机械装备、仪器运动控制

 

主要手艺指标:

型号 敏度 量程 频率 尺寸 重量 供电
1B101 2mV/m·s-2@10Vdc 20m·s-2 0 ~ 150Hz(±5%) 29×26×12mm 36g (8 ~ 16)Vdc

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